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发明名称 METHOD FOR DEPOSITING AN AMORPHOUS CARBON FILM WITH IMPROVED DENSITY AND STEP COVERAGE
摘要
申请公布号 KR20100135243(A) 申请公布日期 2010.12.24
申请号 KR20107021790 申请日期 2009.03.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PADHI DEENESH;HA, HYOUNG CHAN;RATHI SUDHA;WITTY DEREK R.;CHAN CHIU;PARK, SO HYUN;BALASUBRAMANIAN GANESH;JANAKIRAMAN KARTHIK;SEAMONS MARTIN JAY;SIVARAMAKRISHNAN VISWESWAREN;KIM BOK HOEN;M'SAAD HICHEM
分类号 H01L21/312;H01L21/205 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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