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发明名称 VERFAHREN ZUR INSPEKTION EINER PROBE UNTER VERWENDUNG UNTERSCHIEDLICHER INSPEKTIONSPARAMETER
摘要
申请公布号 DE602004030037(D1) 申请公布日期 2010.12.23
申请号 DE200460030037T 申请日期 2004.09.03
申请人 KLA-TENCOR CORP. 发明人 LANGE, STEVE R.;MARELLA, PAUL FRANK;CEGLIO, NAT;HWANG, SHIOW-HWEI;FU, TAO-YI
分类号 G01N21/95 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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