发明名称 Transfer von Hochtemperaturwafern
摘要
申请公布号 DE112008002689(T5) 申请公布日期 2010.12.23
申请号 DE200811002689T 申请日期 2008.11.12
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 TISCHLER, MICHAEL ALBERT;BERTRAM, RONALD THOMAS
分类号 H01L21/677;H01L21/683 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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