| 发明名称 | 一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。 | ||
| 申请公布号 | CN101920437A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN201010258810.9 | 申请日期 | 2010.08.20 |
| 申请人 | 宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心 | 发明人 | 李桂鹏;张春恒;同磊;赵兵;王莉;汪凯;赵红运;李兆博 |
| 分类号 | B23P15/00(2006.01)I;B23P9/02(2006.01)I | 主分类号 | B23P15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人 | 徐淑芬 |
| 主权项 | 一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征在于工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。 | ||
| 地址 | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号 | ||