具有偏压极性束轮廓控制的微型制造的超声波传感器

摘要

本发明披露了一种容性的微型制造的超声波传感器，具有通过交替偏压极性实现的纵向相位控制。这种纵向相位控制产生一种简单的超声探头，其具有优良的切片厚度特性。此外，相位的紧密的空间改变产生一种用于实现发射孔径和变迹法的有效的方式。此外，这种容性的微型制造的超声波传感器可以实现纵向聚焦而不需要有损失的机械透镜。

主权项

一种超声波传感器，包括：多个传感器单元，每个传感器单元包括一对电极；以及适用于对每对电极施加多个偏压中的一个的电路，其中：所述多个偏压包括正偏压和负偏压；所述正偏压作为一个偏压被施加到至少第一对电极上；以及所述负偏压作为一个偏压被施加到至少第二对电极上。