具有燕尾形突脊的AlGaInN基激光器

摘要

一种加工能够发射蓝光的激光器的工艺过程，其中，在CAIBE中使用500℃以上的温度和高于500V的离子束来蚀刻GaN晶片，以形成激光器波导和镜面，其中，所述激光器波导具有向内倾斜的侧壁。

主权项

一种加工激光器的方法，包括：蚀刻包括活性区域的AlGaInN基的半导体晶片以加工出多个激光器；蚀刻所述激光器以形成激光器端部腔面；成角度地蚀刻所述激光器以形成倾斜的突脊侧壁，所述突脊具有底部和燕尾形横截面，所述底部设置在所述激光器结构上且形成在所述活性区域上方；形成用于所述激光器的电接触层；在所述晶片上测试所述激光器，以及此后，单立所述晶片以分离出所述激光器用于封装。