去除晶圆表面有机物残留及湿气的方法

摘要

本发明提供一种去除晶圆表面有机物残留及湿气的方法，包括以下步骤：将晶圆置入高真空工艺腔内；对晶圆的正反面同时进行加热；同时，抽取所述高真空工艺腔内的气体，使所述高真空工艺腔内始终保持为高真空环境。本发明方法中，同时对晶圆正反面进行加热，可使晶圆表面吸附的杂质得到充分的蒸发，使得晶圆表面的蒸发效率大大提高，并且避免了晶圆由于加热不均产生开裂。同时由于采用高真空泵对工艺腔内的气体进行抽取，使工艺腔保持在高真空的状态，工艺腔内晶圆表面蒸发出的气体被充分的吸收，避免了晶圆在工艺腔内的二次污染，使得晶圆表面的杂质能够最大限度的被排出。

主权项

一种去除晶圆表面有机物残留及湿气的方法，包括以下步骤：将晶圆置入预先形成高真空环境的工艺腔内；在保持工艺腔内为高真空环境的条件下，对晶圆的正反面同时进行加热。