一种有源矩阵有机发光显示器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种有源矩阵有机发光显示器及其制造方法，尤其涉及一种低温多晶硅显示面板及其制造方法。本发明技术方案通过采用固相结晶化和局域激光结晶化的双重结晶化方式，在像素内开关区域中获得具有高载流子迁移率的开关薄膜晶体管，在驱动区域中获得具有良好一致性的驱动薄膜晶体管，从而实现有源矩阵有机发光显示器整体性能的提高。

主权项

一种有源矩阵有机发光显示器的制造方法，所述有源矩阵有机发光显示器包括：一基板；以及配置在该基板上的多个像素，呈矩阵排列；多条数据线，平行配置于像素之间；多条扫描线，平行配置于像素之间且与数据线垂直；所述像素的像素区域内具有一开关区域和一驱动区域，所述开关区域内具有开关薄膜晶体管，所述驱动区域内具有驱动薄膜晶体管，所述制造方法包括以下步骤：在所述基板上设置一非晶硅层；通过固相结晶方法，同时将所述开关区域和驱动区域的所述非晶硅层转变为第一多晶硅层；利用激光束对所述开关区域的所述多晶硅层进行结晶化处理，形成第二多晶硅层；在所述开关区域的第二多晶硅层上制作开关薄膜晶体管，在所述驱动区域的第一多晶硅层上制作驱动薄膜晶体管。