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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GROWTH OF HIGH PURITY 6H-SIC SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP2262934(A1) 申请公布日期 2010.12.22
申请号 EP20090717960 申请日期 2009.02.25
申请人 NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORPORATION 发明人 WAGNER, BRIAN;RANDALL, TRAVIS, J.;KNIGHT, THOMAS, J.;KNUTESON, DAVID, J.;KAHLER, DAVID;BERGHMANS, ANDRE, E.;MCLAUGHLIN, SEAN, R.;SINGH, NARSINGH, B.;USEFARA, MARK
分类号 C30B23/02;C30B25/02;C30B25/10;C30B29/36 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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