发明名称 一种水封箱
摘要 本实用新型提供一种水封箱,包括箱体,所述箱体内设置有隔板,所述隔板将所述箱体分割为上箱体和下箱体;所述上箱体上具有溢流水入口,所述上箱体还连接有进水管;所述上箱体与所述下箱体内,设置有箱内溢流管,所述箱内溢流管穿透所述隔板,所述箱内溢流管的顶端位于所述上箱体内,和所述箱内溢流管的底端位于所述下箱体内,所述箱内溢流管的顶端和所述箱内溢流管的底端均开放;所述上箱体的一侧连接有压力指示管,所述压力指示管的位置低于所述箱内溢流管顶端的位置,所述压力指示管具有竖直向上的管道;所述下箱体的一侧连接有呼吸管。本实用新型的水封箱可通过压力指示管直接读取水封箱内的气压压力值,且自身具备调节箱体内气压的功能。
申请公布号 CN201678209U 申请公布日期 2010.12.22
申请号 CN201020200887.6 申请日期 2010.05.21
申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陈伟;周可澄;韩猛;朱重淑;姚念;王建中
分类号 B65D90/48(2006.01)I;B65D90/32(2006.01)I;B65D90/36(2006.01)I;B65D90/24(2006.01)I 主分类号 B65D90/48(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种水封箱,包括箱体,其特征在于:所述箱体内设置有隔板,所述隔板将所述箱体分割为上箱体和下箱体;所述上箱体上具有溢流水入口,所述上箱体还连接有进水管;所述上箱体与所述下箱体内,设置有箱内溢流管,所述箱内溢流管穿透所述隔板,所述箱内溢流管的顶端位于所述上箱体内,和所述箱内溢流管的底端位于所述下箱体内,所述箱内溢流管的顶端和所述箱内溢流管的底端均开放;所述上箱体的一侧连接有压力指示管,所述压力指示管的位置低于所述箱内溢流管顶端的位置,所述压力指示管具有竖直向上的管道;所述下箱体的一侧连接有呼吸管。
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