| 发明名称 |
METHOD FOR DEVELOPING THIN FILM FROM OXIDE OR SILICATE OF HAFNIUM NITRIDE, COORDINATION COMPOUND USED IN SAID METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING INTEGRATED ELECTRONIC CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100134035(A) |
申请公布日期 |
2010.12.22 |
| 申请号 |
KR20107022884 |
申请日期 |
2009.03.16 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE(C.N.R.S.) |
发明人 |
DANIELE STEPHANE;ELETER MOHAMAD;DUBOURDIEU CATHERINE;BRIZE VIRGINIE |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/30;C23C16/40 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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