| 发明名称 | 基板处理装置、显示方法、记录介质及程序 | ||
| 摘要 | 可以在边考虑多个处理室的相互关系边进行维护时在显示面板中显示便利性非常高的维护画面。由于在第二显示区域(312)中将任务按钮以与各任务按钮被点击的时间顺序对应的顺序从左侧起并排地显示，因此可以在进行维护时在触摸面板(300)上显示便利性非常高的维护画面。 | ||
| 申请公布号 | CN101473414B | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN200780022708.5 | 申请日期 | 2007.05.15 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 细川宽之;坂井良治;奥山正史 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高少蔚;李伟 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，具有至少一个处理室，其特征是，具备：显示面板；显示控制部，进行用于在所述显示面板上至少显示所述基板处理装置的维护所需的画面及规定的选择按钮的控制；选择部，用于点击显示于所述显示面板上的选择按钮，所述显示控制部至少将从所述基板处理装置的维护所需的多个画面中选择一个画面的选择按钮，以与该选择按钮被点击的时间顺序对应的顺序并排地显示于所述显示面板的第一显示区域中，将利用所述选择按钮所选择的画面显示于所述显示面板的第二显示区域中。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||