压电驱动MEMS装置

摘要

本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。

主权项

一种压电驱动MEMS装置，包括：衬底；第一致动器，包括第一下部电极、形成在第一下部电极上的第一压电薄膜和形成在第一压电薄膜上的第一上部电极，并且第一致动器具有固定到衬底上的第一端；第二致动器，与第一致动器平行布置在衬底上，包括第二下部电极、形成在第二下部电极上的第二压电薄膜和形成在第二压电薄膜上的第二上部电极；第一连接部，将第一致动器的第二端连接到与第一致动器的第二端相对的第二致动器的第一端上；第三致动器，布置在第二致动器相对于第一致动器的相对侧上并且平行于第一致动器，包括第三下部电极、形成在第三下部电极上的第三压电薄膜和形成在第三压电薄膜上的第三上部电极，并且第三致动器具有固定到衬底上的第一端；第四致动器，布置在衬底上第二致动器和第三致动器之间并且平行于第三致动器，包括第四下部电极、形成在第四下部电极上的第四压电薄膜和形成在第四压电薄膜上的第四上部电极；第二连接部，将第三致动器的第二端连接到与第三致动器的第二端相对的第四致动器的第一端上；第三连接部，将第二致动器的第二端连接到第四致动器的第二端上；和固定电极，形成在衬底上从而与第二致动器和第四致动器的第二端相对，第一致动器和第二致动器布置成与第三致动器和第四致动器相对于第二致动器和第四致动器之间的中心线对称。