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发明名称
摘要
申请公布号	JP4603228(B2)	申请公布日期	2010.12.22
申请号	JP20020015141	申请日期	2002.01.24
申请人		发明人
分类号	C23C16/455;H01L21/205	主分类号	C23C16/455
代理机构		代理人
主权项
地址

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