| 发明名称 |
纳米压印模板及其制备方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种纳米压印模板，包括一柔性基底，以及一聚合物层形成于所述柔性基底的表面，该聚合物层远离所述柔性基底的表面形成有纳米图形，所述聚合物层为高支化低聚物、全氟基聚乙醚、甲基丙烯酸甲酯以及有机稀释剂的固化交联物。本发明还提供所述纳米压印模板的制备方法。 |
| 申请公布号 |
CN101923279A |
申请公布日期 |
2010.12.22 |
| 申请号 |
CN200910108047.9 |
申请日期 |
2009.06.09 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
朱振东;李群庆;张立辉;陈墨 |
| 分类号 |
G03F1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种纳米压印模板，包括一柔性基底，以及一聚合物层形成于所述柔性基底的表面，该聚合物层远离所述柔性基底的表面形成有纳米图形，所述聚合物层为高支化低聚物、全氟基聚乙醚、甲基丙烯酸甲酯以及有机稀释剂的固化交联物。 |
| 地址 |
100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
