| 发明名称 | 冷却喷嘴及该喷嘴的使用方法及脆性材料基板的割断方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种冷却喷嘴及该喷嘴的使用方法及脆性材料基板的割断方法，所述冷却喷嘴形成为圆环状的气体喷出口61、从此圆环状的气体喷出口61的大致中心往外方突出的冷却液喷出的液管8。且，使前述液管8的突出量为0.5～1mm的范围。此外，从减少冷却液量且缩小冷却点的观点，使从前述液管8的前端81伸出3mm以上为相同内径的直管部较理想。此外，使喷嘴盖6的气体流路62的内周面的相对于中心轴O的倾斜角度往前述气体喷出口61阶段性变小较理想。本发明可以在提供较少冷却液量的情况下将基板等被冷却物有效率地局部冷却。 | ||
| 申请公布号 | CN101921055A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN201010195576.X | 申请日期 | 2010.06.09 |
| 申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 音田健司;藤井昌宏;井上修一 |
| 分类号 | C03B33/02(2006.01)I | 主分类号 | C03B33/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人 | 孙皓晨 |
| 主权项 | 一种冷却喷嘴，其特征在于，具有形成为圆环状的气体喷出口和从该圆环状的气体喷出口中心往外方突出的喷出冷却液的液管；所述液管的突出量在0.5～1mm的范围。 | ||
| 地址 | 日本大阪府吹田市 | ||