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发明名称
摘要
申请公布号 JP4601751(B2) 申请公布日期 2010.12.22
申请号 JP19990371459 申请日期 1999.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L25/00;H01L21/02;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/08 主分类号 H01L25/00
代理机构 代理人
主权项
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