电子部件安装装置

摘要

本发明得到一种电子部件安装装置，其可以稳定且准确地识别电子部件的保持状态。电子部件安装装置(100)采用下述结构，即具有：基板保持部(104)，其保持进行电子部件的安装的基板；部件供给部(101、102)，其供给安装的电子部件；搭载头(106)，其具有吸附向基板搭载的电子部件的可升降的吸附嘴(105)；以及移动机构(107)，其使搭载头在基板保持部和部件供给部之间移动，在搭载头上搭载吸排气装置(10)，其具有：由具有可弯曲性的膜或者薄板构成的可弯曲部(21)、粘贴设置在可弯曲部上的压电元件(32)、以及与可弯曲部一起构成空气室(A)的结构体(23)，将该吸排气装置作为用于进行吸附嘴吸附的负压产生源。

主权项

一种电子部件安装装置，其具有：基板保持部，其保持安装电子部件的基板；部件供给部，其供给所安装的电子部件；搭载头，其具有可升降的吸附嘴，该吸附嘴用于吸附向所述基板搭载的电子部件；以及移动机构，其使所述搭载头在所述基板保持部和所述部件供给部之间进行移动，其特征在于，设置吸排气装置，其搭载在所述搭载头上，具有：由具有可弯曲性的膜或者薄板构成的可弯曲部、粘贴设置在所述可弯曲部上的压电元件、以及与所述可弯曲部一起构成空气室的结构体，该吸排气装置是用于由所述吸附嘴进行吸附的负压产生源。