| 发明名称 | 挠性膜自载板上脱离的方法及可挠式电子装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供挠性膜自载板上脱离的方法及可挠式电子装置的制造方法。该挠性膜自载板上脱离的方法包含：提供载板，其中该载板具有上表面；对该载板的上表面进行表面处理，以形成具有防粘特性的上表面；形成挠性膜于该载板具有防粘特性的上表面；以及，对形成于该载板上的该挠性膜进行切割脱离。 | ||
| 申请公布号 | CN101924067A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN200910146998.5 | 申请日期 | 2009.06.09 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈东森;魏小芬;江良佑;张悠扬 |
| 分类号 | H01L21/78(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种挠性膜自载板上脱离的方法，包含：提供载板，其中该载板具有上表面；对该载板的上表面进行表面处理，以形成具有防粘特性的上表面；在该载板具有防粘特性的上表面上形成挠性膜；以及对形成于该载板上的该挠性膜进行切割脱离。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||