真空过滤器装置

摘要

一种用来用机械的方式在晶体生长过程中清除一氧化硅的过滤器装置，该过滤器装置具有过滤器壳体，连接至该过滤器壳体的过滤器固定台，连接至该过滤器壳体的清扫板，连接至所述过滤器固定台的多个过滤元件，和装配至该清扫板的多个环形刷，其中所述多个环形刷中的至少一个围绕所述多个过滤元件中的每一个。或者，一种用来用机械的方式在晶体生长过程中清除一氧化硅的过滤器装置，包括具有上部、下部和中心部的过滤器壳体，接近所述上部、连接至所述过滤器壳体的过滤器安装台，连接至所述过滤器安装台的多个过滤元件，和安装于所述过滤器壳体的中心的圆柱形刷，其中该圆柱形刷具有多个向外散射的刷毛，所述刷毛与所述多个过滤元件的外部相接触。

主权项

一种用来用机械的方式在晶体生长过程中清除一氧化硅的过滤器装置，包括：具有上部和下部的过滤器壳体；接近所述上部、连接至所述过滤器壳体的过滤器固定台；接近所述下部、连接至所述过滤器壳体的清扫板；连接至所述过滤器固定台的多个过滤元件；和装配至所述清扫板的多个环形刷，其中所述多个环形刷中的至少一个围绕所述多个过滤元件中的每一个。