| 发明名称 | 非蚀刻非光阻性粘着组合物及制备工件的方法 | ||
| 摘要 | 为了使光阻剂涂料，更具体而言光可成像光阻剂涂料良好地粘附至铜基底，并确保很薄的铜基底不受损害，提供了一种用于处理该铜基底的非蚀刻非光阻性组合物，该组合物包含至少一种选自以下的粘着剂：(i)含至少一个硫醇部分的杂环化合物，及(ii)具有以下化学通式的季胺聚合物：{N+(R3)(R4)-(CH2)a-N(H)-C(Y)-N(H)-(CH2)b-N+(R3)(R4)-R5}n2nX-，其中R1、R2、R3、R4、R5、Y及X-如权利要求中的定义。 | ||
| 申请公布号 | CN101926235A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN200980102832.1 | 申请日期 | 2009.02.27 |
| 申请人 | 埃托特克德国有限公司 | 发明人 | C·斯帕林;N·吕错;D·特夫斯;M·汤姆斯 |
| 分类号 | H05K3/38(2006.01)I;C23F11/14(2006.01)I | 主分类号 | H05K3/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 程大军 |
| 主权项 | 一种用于处理铜或铜合金的非蚀刻非光阻性组合物，该组合物包括至少一种粘着剂，该粘着剂选自包含至少一个硫醇部分的杂环化合物及具有以下化学通式II的季铵聚合物：{N+(R3)(R4) (CH2)a N(H) C(Y) N(H) (CH2)b N+(R3)(R4) R5}n2nX II其中：R3和R4独立地是甲基、乙基、异丙基、羟甲基、羟乙基或 CH2CH2(OCH2CH2)cOH；R5是(CH2)d或{(CH2)eO(CH2)f}g；Y是O、S或NH；a、b、c、d、e和f各自独立地是1至约6的整数；g是1至约4的整数；n是至少1的整数；且X 为卤离子。 | ||
| 地址 | 德国柏林 | ||