一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统

摘要

本实用新型涉及氮化硅(SiNx)薄膜领域，具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统。该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II，装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体，装载腔I和装载腔II相通，装载腔II和工艺腔相通，工艺腔和卸载腔I相通，卸载腔I和卸载腔II相通；装载腔I的外侧设置进载台，卸载腔II的外侧依次设置装卸载台和出载台，装卸载台的下部设置封闭式下传输系统。本实用新型解决现有技术中存在的生产时间长、成本较高等问题。在产量高的同时节省一个装卸载台和一个操作人员，并且除了装卸载台和出载台在洁净间以外，其它的部分都可以放到普通环境中、成本更低。

主权项

一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统，其特征在于：该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II，装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体，装载腔I和装载腔II相通，装载腔II和工艺腔相通，工艺腔和卸载腔I相通，卸载腔I和卸载腔II相通；装载腔I的外侧设置进载台，卸载腔II的外侧依次设置装卸载台和出载台，装卸载台的下部设置封闭式下传输系统。