METHOD AND DEVICE FOR THE OPTICAL INSPECTION OF A SURFACE OF AN OBJECT,申请号EP20080784721-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR THE OPTICAL INSPECTION OF A SURFACE OF AN OBJECT
摘要
申请公布号	EP2167947(B1)	申请公布日期	2010.12.22
申请号	EP20080784721	申请日期	2008.07.11
申请人	CARL ZEISS AG	发明人	KNUPFER, KLAUS;SPRUCK, BERND;KIMMIG, WOLFGANG;BECK, ROLF
分类号	G01N21/88;G01B11/25;G01B11/30	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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