| 发明名称 | 盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物。一种盐，其具有如式(I)所示的基团：-T(I)，其中T代表C3-C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被-O-或-S-替代，并且该脂环烃基可以具有一个以上取代基。 | ||
| 申请公布号 | CN101921259A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN201010206559.1 | 申请日期 | 2010.06.10 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;杉原昌子;岛田雅彦 |
| 分类号 | C07D327/06(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07C309/17(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07D327/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 涂勇 |
| 主权项 | 一种具有如式(I)所示的基团的盐： T (I)其中T代表C3 C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被 O 或 S 替代，所述C3 C6脂环烃基可以有一个以上的取代基； | ||
| 地址 | 日本国东京都中央区新川二丁目27番1号 | ||