晶圆夹具

摘要

一种晶圆夹具，用于固定放置在一操作机台上的一晶圆，晶圆夹具包含一环形的顶座、一包括一自顶座的内侧缘向环形中心延伸的主体部及数个相间隔地自主体部的内侧缘向环形中心延伸的延伸部的顶壁、一自顶座的内侧缘向下延伸并与顶壁相配合界定出一容置晶圆的容置空间的侧壁、数个位置与所述延伸部相对应且自顶壁向下凸伸的顶壁间隔块，及三个以上相间隔地由侧壁表面往环形中心凸伸的侧壁间隔块。通过侧壁间隔块及顶壁间隔块的设置，分别使晶圆与侧壁及顶壁相间隔，在沉积的过程中，沉积物不会使晶圆与侧壁沾黏，减少晶圆发生黏片的现象。

主权项

一种晶圆夹具，用于固定放置在一操作机台上的一晶圆，该晶圆夹具包含：一环形的顶座；一顶壁，包括一自该顶座的内侧缘向环形中心延伸的主体部及数个延伸部，所述延伸部相间隔地自该主体部的内侧缘向环形中心延伸；一侧壁，自该顶座的内侧缘向下延伸，并与该顶壁相配合界定出一容置该晶圆的容置空间；数个顶壁间隔块，位置与所述延伸部相对应且自该顶壁向下凸伸，使该晶圆的顶面与该顶壁相间隔，其特征在于：该晶圆夹具还包含三个以上侧壁间隔块，相间隔地由该侧壁表面往环形中心凸伸，使该晶圆的周缘与该侧壁相间隔。