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发明名称
摘要
申请公布号 JP4601247(B2) 申请公布日期 2010.12.22
申请号 JP20020377030 申请日期 2002.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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