发明名称 环境光侦测器
摘要
申请公布号 TWI335075 申请公布日期 2010.12.21
申请号 TW096103337 申请日期 2007.01.30
申请人 国立台湾大学 发明人 林浩雄;马大钧;林佑儒;王俊评;黄正宏
分类号 H01L27/142 主分类号 H01L27/142
代理机构 代理人 洪尧顺 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项 一种环境光侦测器,其包括:一基底;一缓冲层,其系形成于该基底上,其中该缓冲层之掺杂载子电性与该基底相同;一吸收层,其系形成于该缓冲层上,用以吸收人眼可视波长范围之可见光,且该吸收层系为一PIN(P-type-Intrinsic-N-type)结构,其材料系为AlxGa1-xAs,0<x<1,但其中包含一成分渐变层的中性层(Intrinsic),其材料系为AlyGa1-yAs,且y系由0渐变至1;一滤光层,其系形成于该吸收层上,用以滤去红外光及人眼反应不敏感之高能光子;其中该PIN结构具有一第一吸收次层;且其中该第一吸收次层具有一与该缓冲层相同的掺杂型态。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中做为该吸收层之该PIN结构进一步包含一第二吸收次层、一第三吸收次层、一第四吸收次层与一第五吸收次层,其中该第一吸收次层与该第五吸收次层分别为P型或N型掺杂,但两者为不同型;而该第二吸收次层、该第三吸收次层、该第四吸收次层为无掺杂,且该第三吸收次层系为该中性层。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该滤光层进一步包含一第一滤光次层、第二滤光次层与第三滤光次层,其中该第一滤光次层与第三滤光次层之材料系为砷化镓,或铝成分的比例低于该第五吸收次层的砷化铝镓;以及该第二滤光次层之材料为AlzGa1-zAs,0.7<z<0.75。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该滤光层与该基底系分别为P型或N型掺杂,但两者系为不同型。如申请专利范围第2项所述之环境光侦测器,其中该第五吸收次层与该滤光层为同型,且该基底、该缓冲层与该第一吸收次层需为同型。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该缓冲层与该基底系均为偏压电极的接触平面。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该吸收层的材料为AlxGa1-XAs,且0.4<x<0.65。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该中性层的材料为AlyGa1-yAs,且y系自0.3渐变至0.8。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该中性层的材料为AlyGa1-yAs,且y系自0.3渐变至0.61。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该基底系N型。如申请专利范围第1项所述之环境光侦测器,其中该滤光层之厚度系50~500 nm。
地址 台北市大安区罗斯福路4段1号