Process chamber comprising substrate tray and method of loading or unloading substrate using the same,申请号KR20030075822-传众专利搜索

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发明名称	Process chamber comprising substrate tray and method of loading or unloading substrate using the same
摘要
申请公布号	KR101002941(B1)	申请公布日期	2010.12.21
申请号	KR20030075822	申请日期	2003.10.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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