发明名称 NANOELECTRONIC AND MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 PT1720966(E) 申请公布日期 2010.12.21
申请号 PT20050713349T 申请日期 2005.02.11
申请人 AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS, INC. 发明人 CHIEN-PIN SHERMAN HSU
分类号 C11D11/00;C11D3/39;C11D3/395;C11D7/22;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
主权项
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