| 摘要 |
Установка для нанесения тонких пленок поверхностных диффузантов на кремниевые пластины, содержащая два многорядных тактовых конвейера с конвейерными трактами для перемещения пластин, устройства для загрузки, выгрузки и кантования кремниевых пластин, камеры напыления, нагрева и сушки, систему автоматизированного управления технологическим процессом с контроллерами управления приводными механизмами, соединенными с компьютером и дисплеем, отличающаяся тем, что она снабжена снабжена системой очистки конвейера и удаления избытка диффузантов с ваннами с поддержанием уровня рециркулирующего химического раствора, вентиляционной системой и системой сушки, а устройства загрузки, выгрузки и кантования кремниевых пластин снабжены бесконтактными манипуляторами-перекладчиками, работающими по принципу Бернулли и содержащими плоскую чашку-захват, в центре которой изнутри выполнено малое отверстие для подачи под давлением чистого воздуха, при этом чашка установлена с возможностью перемещения в нужную точку на конвейере при помощи приводных механизмов, а конвейерные тракты для перемещения пластин многорядных тактовых конвейеров выполнены в виде сетчатой ленты из коррозионно-стойкого материала, причем на ленте закреплены отдельные для каждой кремниевой пластины подложки, изготовленные из чистого карбида кремния со шлифованной поверхностью под укладку пластин, а камеры напыления выполнены из диэлектрического коррозионно-стойкого материала в виде полых корпусов, в верхней части которых расположено отверстие для установки форсунок распыления, а снизу боковых стенок выполнены входные и выходные окна для � |
