发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR101002258(B1) 申请公布日期 2010.12.20
申请号 KR20080085238 申请日期 2008.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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