| 发明名称 |
COATING APPARATUS WITH ROTATION MODULE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100132517(A) |
申请公布日期 |
2010.12.17 |
| 申请号 |
KR20107022277 |
申请日期 |
2009.02.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BANGERT STEFAN;KOENIG MICHAEL;SCHUESSLER UWE;GERTMANN REINER |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/56;C23C16/04;H01L21/68 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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