发明名称 Method of forming isolation layer in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR101002548(B1) 申请公布日期 2010.12.17
申请号 KR20070102159 申请日期 2007.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址