发明名称 PROCEDE DE POSITIONNEMENT DES PUCES LORS DE LA FABRICATION D'UNE PLAQUE RECONSTITUEE
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'une plaque reconstituée (100) qui comporte des puces (1) présentant des plots de connexion (10), ce procédé comprenant les étapes suivantes de : - fabrication d'une première plaque de puces (1). Il comprend en outre les étapes suivantes : - réalisation sur cette plaque d'un empilement d'au moins une couche de redistribution des plots (10) des puces sur des pistes conductrices (12) destinées à l'interconnexion des puces, cet empilement étant désigné couche RDL principale (14), - découpe de cette plaque pour obtenir des puces (1) individuelles munies chacune de leur couche RDL (14), - report des puces individuelles avec leur couche RDL (14) sur un support suffisamment rigide (20) pour rester plan lors des étapes suivantes, et muni d'une couche de colle (21), avec la couche RDL (14) sur la couche de colle (21), - dépôt d'une résine (30) pour encapsuler les puces (1 ), - polymérisation de la résine, - retrait du support rigide (20), - dépôt d'une seule couche de redistribution dite mini RDL (24) pour relier les pistes conductrices de la couche RDL (14) principale jusqu'à des contacts d'interconnexion, à travers des ouvertures (22) pratiquées dans la couche de colle (21), la plaque comportant la résine polymérisée, les puces avec leur couche de RDL, et la Mini RDL étant la plaque reconstituée (100).</p>
申请公布号 FR2946795(A1) 申请公布日期 2010.12.17
申请号 FR20090002871 申请日期 2009.06.12
申请人 3D PLUS 发明人 VAL CHRISTIAN
分类号 H01L21/50;H01L21/77;H01L23/02;H01L23/52 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
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