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经营范围
发明名称
Manufacturing method for semiconductor device
摘要
申请公布号
KR101002046(B1)
申请公布日期
2010.12.17
申请号
KR20030052668
申请日期
2003.07.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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