发明名称 Elektrische Kontaktierung von Halbleiter-Bauelementen mit geringem Kontaktwiderstand
摘要
申请公布号 DE112008003778(A5) 申请公布日期 2010.12.16
申请号 DE20081103778T 申请日期 2008.02.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 KAMPEN, CHRISTIAN;BURENKOV, ALEXANDER
分类号 H01L21/285;H01L21/336;H01L23/485 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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