发明名称 Metal reduction in wafer scribe area
摘要
申请公布号 KR101001530(B1) 申请公布日期 2010.12.16
申请号 KR20057013873 申请日期 2004.01.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/301;H01L;H01L21/20;H01L21/304;H01L21/3213;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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