Teilchenoptische Vorrichtung mit Magnetanordnung

摘要

Die Erfindung stellt eine teilchenoptische Vorrichtung bereit, die eine Teilchenquelle zur Erzeugung wenigstens eines Strahls geladener Teilchen, und eine Magnetanordnung mit zwei Polplatten umfasst, welche mit Abstand voneinander angeordnet sind, so dass der Strahl geladener Teilchen im Betrieb zwischen den beiden Polplatten hindurchtritt, wobei in den Polplatten Gräben vorgesehen sind, in welchen Spulendrähte angeordnet sind. Die Wärmeentwicklung in den Spulen und/oder der Wärmeübergang von den Spulen in die Polplatten wird verringert und/oder stabilisiert.