| 摘要 |
<p>【課題】開口周縁の強度を確保しつつ、入射側の口径を拡大することができるマスクを提供する。【解決手段】マスク１は、テーパー形状を成す貫通孔３が第一側壁４及び第二側壁５により画成されており、第一側壁４と底面２ａとが成す角度をθ１、第二側壁５と底面２ａに平行な面とが成す角度をθ２、マスク基板２の厚みをｔ、底面２ａと第一側壁４の上面２ｂ側の端部４ａとの間の厚みをｈ、第一側壁４の上面２ｂ側の端部４ａと第二側壁５の底面２ａ側の端部５ａとの間の幅をＬとした場合に、θ２＜θ１、４５?＜θ１＜９０?、ｈ≦（１／２）ｔ、０≦Ｌ＜ｈの関係を満たしている。【選択図】図１</p> |
