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发明名称 ZERSTÖRUNGSFREIE CHARAKTERISIERUNG VON DÜNNEN SCHICHTEN DURCH MESSUNG VON BASISSPEKTREN UND/ODER BASIERT AUF EINEM AUFGENOMMENEN SPEKTRUM
摘要
申请公布号 DE60334842(D1) 申请公布日期 2010.12.16
申请号 DE2003634842 申请日期 2003.12.23
申请人 HIGH VOLTAGE ENGINEERING CORP. 发明人 LARSON, PAUL E.;WATSON, DAVID G.;MOULDER, JOHN F.
分类号 G01B11/06;G01B15/02;G01N23/227 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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