POLISHING APPARATUS,申请号KR20107017423-传众专利搜索

发明名称	POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20100131973(A)	申请公布日期	2010.12.16
申请号	KR20107017423	申请日期	2009.02.09
申请人	EBARA CORPORATION	发明人	FUKUSHIMA MAKOTO;TOGAWA TETSUJI;YASUDA HOZUMI;SAITO KOJI;NABEYA OSAMU;INOUE TOMOSHI
分类号	H01L21/304;B24B37/30;B24B37/32	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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