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发明名称
摘要
申请公布号	JP4599405(B2)	申请公布日期	2010.12.15
申请号	JP20070527868	申请日期	2005.08.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/677;H01L21/027	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
地址

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