| 发明名称 | 对准元件的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种采用转台内与电子元件或装配设备一起使用的真空拾取管嘴对准小尺寸元件的方法和装置。该方法包括步骤：用拾取管嘴拾取该元件；测量该元件相对于限定值的位置；将由该拾取管嘴所固持的元件与对准设备接触；用该对准设备固持该元件以及；基于该位置测量移动该对准设备从而对准该元件。 | ||
| 申请公布号 | CN101919039A | 申请公布日期 | 2010.12.15 |
| 申请号 | CN200880122545.2 | 申请日期 | 2008.12.17 |
| 申请人 | 伊斯梅卡半导体控股公司 | 发明人 | P·德罗马尔;S·马耶尔 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 朱海煜;徐予红 |
| 主权项 | 一种对准方法，包括以下步骤：(a)通过在拾取管嘴(21)上施加负压力而由该拾取管嘴(21)拾取元件(20)；(b)测量该元件相对于限定位置值的位置；其特征在于(c)将由该拾取管嘴(21)固持的元件(20)与对准设备(23，25)接触；(d)基于步骤(b)中的位置测量移动该对准设备(23，25)从而对准该元件(20)。 | ||
| 地址 | 瑞士拉绍德封 | ||