扫描电子显微镜

摘要

一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。

主权项

一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜是具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，和在试样室内放置试样的试样台的气体倍增式离子电流检测型扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜的特征在于具有：在上述试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，以使得为了通过照射上述电子束使由上述试样所产生的二次电子加速而提供电场，和离子电流检测电极，上述电场供给电极被配置成其外围与上述离子电流检测电极不接触地被上述离子电流检测电极包围。