发明名称 Method of Selectively Etching Semiconductor region
摘要
申请公布号 KR101001773(B1) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 KR20080097552 申请日期 2008.10.06
申请人 发明人
分类号 H01L33/12;H01L21/3063 主分类号 H01L33/12
代理机构 代理人
主权项
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