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发明名称
VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEN WACHSTUM MITTELS CVD
摘要
申请公布号
AT488864(T)
申请公布日期
2010.12.15
申请号
AT20020713331T
申请日期
2002.03.22
申请人
CREE, INC.
发明人
LIU, YUIJING;LOEFGREN, PETER;HALLIN, CHRISTER;ZHOU, GANG
分类号
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/00
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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