发明名称 VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEN WACHSTUM MITTELS CVD
摘要
申请公布号 AT488864(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20020713331T 申请日期 2002.03.22
申请人 CREE, INC. 发明人 LIU, YUIJING;LOEFGREN, PETER;HALLIN, CHRISTER;ZHOU, GANG
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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