单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉

摘要

本实用新型公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉，所述热屏包括定位部，所述定位部用于与炉体连接，且所述定位部形成有上部开口端；和锥台部，所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端，其中，所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成，形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本实用新型的热屏，从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分，因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。

主权项

一种用于单晶炉的热屏，其特征在于，包括：定位部，所述定位部用于与炉体连接，且所述定位部形成有上部开口端；和锥台部，所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端，其中，所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成，形成所述内层的内层材料是从包括硅、含硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物所形成的组中选择的，其中，所述含硅化合物包括碳化硅、氮化硅、硼化硅、二氧化硅，所述耐1400℃金属包括钨、钼、钽、铌、钒、铬、钛、锆及其合金，所述硼化物包括碳化硼、氮化硼、硼化锆、硼化镧、硼化钛、硼化钽、硼化铬、硼化钨、硼化钼、硼化钒、硼化铌，所述碳化物包括碳化铬、碳化钽、碳化钒、碳化锆、碳化钨、碳化钼、碳化钛、碳化铌，所述氮化物包括氮化钛、氮化钨、氮化钼、氮化铬、氮化铌、氮化锆、氮化钽、氮化钒。