真空度检测仪

摘要

本发明申请涉及的是真空度电子检测装置。本真空度检测仪实质为真空度的湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头连接于密封装配安装在真空腔体的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。本技术方案改变了通过检测压力值的方法检测真空度的意识误区，而利用湿度检测手段来完成真空度的检测，因此避开压力仪表的管道机械式连接结构，只由密封装配更为简单的电连接插接头内外电连接，能够有效的、持久、稳定的保证真空状态，且体积小巧、易于保证检测精度、使用寿命长。

主权项

一种真空度检测仪，其特征在于该真空度检测仪为真空度湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头(3)连接于密封装配安装在真空腔体(1)的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。