一种无基底滤光片的制备方法

摘要

本发明涉及一种无基底滤光片的制备方法，该方法包括如下步骤：①在玻璃基底上镀制可剥离层，该可剥离层采用活泼金属形成金属单层；②在所述的金属单层上，镀制滤光片的膜系，该膜系由低折射率材料和高折射率材料相间组成，其中膜系的底层和顶层均为低折射率材料；③将上述结构的材料按照产品的最终尺寸切割；④将切割后的小片在酸性溶液进行刻蚀，剥离层的活泼金属在酸性溶液中腐蚀和溶解，直至金属单层被刻蚀完成；⑤待滤光片和玻璃基底实现分离后，取出分离后的滤光片清洁干净，得到无基底滤光片产品。本发明的制作方法制造的滤光片不存在基底厚度，便于小尺寸滤光片的制作，使用较厚玻璃基底减小镀膜过程中所带来的变形，从而提高产品良率。

主权项

一种无基底滤光片的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：①在玻璃基底上镀制可剥离层，该可剥离层采用活泼金属形成金属单层；②在所述的金属单层上，镀制滤光片的膜系，该膜系由低折射率材料和高折射率材料相间组成，其中膜系的底层和顶层均为低折射率材料；③将上述结构的材料按照产品的最终尺寸切割；④将切割后的小片在酸性溶液进行刻蚀，剥离层的活泼金属在酸性溶液中腐蚀和溶解，直至金属单层被刻蚀完成；⑤待滤光片和玻璃基底实现分离后，取出分离后的滤光片清洁干净，得到无基底滤光片产品。