位移速度测量方法

摘要

本发明涉及测量能够相对于固定元件移动的元件的位移速度的方法。本发明方法使用光学测量装置而执行，其包括第一基准传感器和多个不同的第二测量传感器(Mi)，其基本上沿移动元件的位移轴排列。该测量方法包括：通过使由基准传感器和每个测量传感器(Mi)提供的信号相关、并计算来自所估计的速度(Ve(Mi))的平均速度(Vmoy)，而确定所估计的速度(Ve(Mi))。

主权项

一种通过固定于移动元件和固定元件之一的光学测量装置来测量移动元件相对于固定元件的位移速度的测量方法，并且，该光学测量装置包括用于朝向所述移动元件和所述固定元件中的另一个元件发出至少一个入射光束的部件、检测由所述另一个元件散射的光的第一(R)和第二(M)传感器、以及连接到所述第一(R)和第二(M)传感器的处理部件，该测量方法至少包括： 发出入射光束， 由所述第一(R)和第二(M)传感器检测散射的光， 由处理部件通过将由第一(R)和第二(M)传感器提供的信号相关，而确定最大相关峰值的位置， 根据第一(R)和第二(M)传感器之间的预定距离(D)、以及所述最大相关峰值的位置，而确定所估计的速度(Ve)；该方法的特征在于，该第一传感器(R)是基准传感器(R)，该第二传感器(M)是基本上沿移动元件的移动轴(A)排列的多个不同的测量传感器(Mi)，由此该基准传感器(R)和每个测量传感器(Mi)之间的距离不同，该测量方法包括： 根据由基准传感器(R)和每个测量传感器(Mi)提供的信号，确定所估计的速度(Ve(Mi))；以及 计算所估计的速度(Ve(Mi))的平均速度(Vmean)。